# 2025年新品發布會#
日期:2025年9月27日
時間:8:30-18:30
近期我司新推出升級了適用于電極涂布?和 真空干燥?環節耐腐蝕設計可應對電解液揮發物?ESR20N
用于 ?SEM(掃描電子顯微鏡)? 和 ?MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)? 等工藝,處理腐蝕性氣體時需耐腐蝕材料選件?
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輕負荷應用如 ?預真空鎖? 和 ?離子注入? 等場景?。
適用于 ?電極涂布? 和 ?真空干燥? 環節,耐腐蝕設計可應對電解液揮發物?。
處理 ?酸性/堿性氣體? 或 ?有機溶劑? 時,可選配耐腐蝕轉子涂層或特殊密封材料?
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轉子設計優化降低能耗,空轉功能減少待機功耗?
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干式運行無需油潤滑,減少污染風險,維護成本低?
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如需具體參數或選型建議,可參考EBARA技術文檔?